X熒光光譜儀是根據X射線(xiàn)熒光光譜的分析方法配置的多通道X射線(xiàn)熒光光譜儀，它能夠分析固體或粉狀樣品中各種元素的成分含量。 X射線(xiàn)熒光(XRF)能夠測定周期表中多達83個(gè)元素所組成的各種形式和性質(zhì)的導體或非導體固體材料，其中典型的樣品有玻璃、塑料、金屬、礦石、耐火材料、水泥和地質(zhì)物料等。
凡是能和x射線(xiàn)發(fā)生激烈作用的樣品都不能分析，而且要分析的樣品必須是在真空(4~5pa)環(huán)境下才能測定。 X熒光光譜儀(XRF)由激發(fā)源(X射線(xiàn)管)和探測系統構成。
X射線(xiàn)管通過(guò)產(chǎn)生入射X射線(xiàn)(一次X射線(xiàn))，來(lái)激發(fā)被測樣品。 受激發(fā)的樣品中的每一種元素會(huì )放射出二次X射線(xiàn)，并且不同的元素所放射出的二次X射線(xiàn)具有特定的能量特性或波長(cháng)特性。探測系統測量這些放射出來(lái)的二次X射線(xiàn)的能量及數量。
然后，儀器軟件將探測系統所收集到的信息轉換成樣品中各種元素的種類(lèi)及含量。 元素的原子受到高能輻射激發(fā)而引起內層電子的躍遷，同時(shí)發(fā)射出具有一定特殊性波長(cháng)的X射線(xiàn)。
因此，只要測出熒光X射線(xiàn)的波長(cháng)或者能量，就可以知道元素的種類(lèi)，這就是熒光X射線(xiàn)定性分析的基礎。此外，熒光X射線(xiàn)的強度與相應元素的含量有一定的關(guān)系，據此，可以進(jìn)行元素定量分析。
近年來(lái)，X熒光光譜分析在各行業(yè)應用范圍不斷拓展，廣泛應用于冶金、地質(zhì)、有色、建材、商檢、環(huán)保、衛生等各個(gè)領(lǐng)域，特別是在RoHS檢測領(lǐng)域應用得 多也 廣泛，是一種中型、經(jīng)濟 、高性能的波長(cháng)色散X射線(xiàn)光譜儀。
